Thiết bị chân không, thiết bị ATV
Chúng tôi cung cấp nhiều loại thiết bị lắng đọng hơi và thiết bị liên quan để chiếu sáng EL hữu cơ và tạo màng chức năng Tương thích với nhiều vật liệu cơ bản khác nhau như màng, thủy tinh và tấm bán dẫn, chúng tôi có thể đáp ứng nhiều yêu cầu khác nhau từ máy thử nghiệm đến máy sản xuất hàng loạt, từ loại cụm đến loại cuộn
Chúng tôi cũng có thiết bị ATV (Air to Vacuum) liên tục vận chuyển phim từ khí quyển đến chân không
Dịch vụ và sản phẩm chính
Nguồn bốc hơi máy bay
Tính năng
Bằng cách tối ưu hóa cách bố trí vòi phun và ổn định tốc độ lắng đọng thông qua điều khiển van, chúng tôi đạt được độ đồng nhất cao trong mặt phẳng và hiệu quả sử dụng vật liệu cao bất chấp sự hình thành màng tĩnhChúng tôi cũng có thể thực hiện đồng bay hơi bằng cách sử dụng tối đa ba nguồn và màng gradient bay hơi
- ＜Thông số kỹ thuật chính＞
- Kích thước bảng tối đa bảng G6 (1500×1850mm)
- Độ đồng đều độ dày màng ≦±3% (cũng có thể có ±2%)
- Nhiệt độ hoạt động liên tục tối đa 400oC
- Số lượng nguồn được cài đặt tối đa: 3 nguồn (có thể đồng bay hơi)
- Đo tốc độ lắng đọng hơi QCM, cảm biến tốc độ áp suất
- Kiểm soát tốc độ bay hơi Kiểm soát bằng nhiệt độ nồi nấu và mở van bay hơi
- Vị trí nồi nấu đặt bên ngoài buồng chân không
- Đổ đầy vật liệu: có thể thay thế vật liệu bay hơi mà không để buồng tiếp xúc với khí quyển
- ＜Ví dụ thực tế＞
- Nguồn bay hơi màng hữu cơ cho hệ thống chiếu sáng EL hữu cơ loại cụm
Nguồn tuyến tính loại vòi phun
Tính năng
Chúng tôi đã thương mại hóa sản phẩm này dựa trên công nghệ được phát triển thông qua việc phát triển các nguồn bốc hơi bề mặt Có mức độ tự do cao trong thiết kế và có thể chọn hướng lắng đọng Bạn cũng có thể thêm cơ chế loại bỏ dung môi cho vật liệu lỏng
- ＜Thông số kỹ thuật chính＞
- Chiều rộng bảng tối đa 2000mm
- Độ đồng đều độ dày màng hướng chiều rộng ≦±3%
- Nhiệt độ hoạt động liên tục tối đa 400oC
- Số lượng nguồn được cài đặt tối đa: 3 nguồn (có thể đồng bay hơi)
- Đo tốc độ lắng đọng hơi QCM, cảm biến tốc độ áp suất
- Kiểm soát tốc độ bay hơi Kiểm soát bằng nhiệt độ nồi nấu và mở van bay hơi
- Vị trí nồi nấu đặt bên ngoài buồng chân không
- Cơ chế chuyển đổi vật liệu vào nồi nấu kim loại (tùy chọn)
- ＜Ví dụ thực tế＞
- Nguồn bay hơi cho thiết bị nội tuyến
- Nguồn bay hơi để lắng đọng màng cuộn
Nguồn bay hơi EB không gây hư hại
Tính năng
Đây là nguồn bay hơi để lắng đọng các vật liệu kim loại và vô cơ trên màng hữu cơ trong các thiết bị hữu cơ Bằng cách sử dụng liều tia X thấp, cơ chế bẫy điện tử tán xạ ngược độc đáo và nồi nấu kim loại cách điện, có thể tạo thành màng ở nhiệt độ thấp và tốc độ cao Có thể đạt được cùng mức độ đặc tính của phần tử như gia nhiệt bằng điện trở thông thườngNgoài ra, bằng cách kết hợp cơ chế cung cấp nguyên liệu tự động, quá trình tạo màng liên tục có thể được thực hiện trong 100 giờ
- ＜Ví dụ thực tế＞
- Nguồn bay hơi màng kim loại cho thiết bị EL hữu cơ loại cụm
- Nguồn bay hơi để lắng đọng màng cuộn
Cực âm quay
Tính năng
Hiệu suất sử dụng vật liệu cao giúp giảm tần suất thay thế mục tiêu và hiệu quả làm mát cao cho phép tạo màng tốc độ cao
- Tuổi thọ cao hơn nhờ tăng cường phốt chân không (1→5 năm)
- Đạt được tốc độ dòng nước làm mát lớn cần thiết cho quá trình phún xạ tốc độ cao (100ℓ/phút)
- Khối cuối được thiết kế nội bộ và nam châm cũng được thiết kế và đo lường nội bộ
- ＜Ví dụ thực tế＞
- Cực âm để lắng đọng màng cuộn
Thiết bị ATV (Air to Vacuum)
Tính năng
Cơ chế ATV được phát triển độc đáo thực hiện việc vận chuyển phim liên tục từ khí quyển đến chân không (Nó cũng có thể được sử dụng để kiểm soát chênh lệch áp suất ở các vùng chân không khác nhau) Cơ chế này duy trì tốc độ hoạt động cao của thiết bị chân không và góp phần rất lớn vào việc nâng cao năng suất
| Thông số thiết kế (tư vấn riêng) | Thông số kỹ thuật của máy thử nghiệm | |
|---|---|---|
| Tốc độ vận chuyểnTốc độ web | MAX 30m/phút | 0,5～10m/phút |
| Độ rộng phimĐộ rộng phim | MAX 2000mm | 300～500mm |
| Độ dày vật liệu nềnĐộ dày màng | MAX 200µm | 25µm～200µm |
Công nghệ liên quan
Nếu có thắc mắc về hoạt động kinh doanh của chúng tôi, hãy nhấp vào đây